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Fiche technique
| EQUIPEMENTIER | LAM RESEARCH |
| REFERENCE EQUIPEMENTIER | 685-008160-011 |
| FABRICANT | MKS |
| REFERENCE FABRICANT | CMLA-11S02-EMC |
| PLAGE D'UTILISATION | 10 TORR |
| DIVERS | Capacitance Diaphragm |
| TENSION D'ENTREE | +/-15VDC |
| TENSION DE SORTIE | 0-10VDC |
| ETAT | REFURBISHED |
